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设备轴承MEMS 加速度计

MEMS Accelerometer in Machine Bearings

硅微加工质量块—弹簧结构的电容或压阻变化反映加速度，数字输出常见。…

测量原理

硅微加工质量块—弹簧结构的电容或压阻变化反映加速度，数字输出常见。

设备轴承MEMS 加速度计的信号链路与响应形态（示意）。

典型规格

量程 ±2~±200 g；噪声密度 25~300 μg/√Hz；带宽可达 1~5 kHz

成熟度

Established

应用领域

振动 · Vibration

优点可测静态（含重力）、成本极低、功耗低、体积小、易大规模组网、内置温度与自检。轴承监测以速度有效值与包络谱识别早期损伤。

局限噪声密度高于 IEPE；带宽有限；量程与分辨率折中；冲击后零偏变化；高频测量能力弱。安装耦合、转速波动、冲击干扰。

轴承座径向测点，加速度计磁吸/螺装，振动速度与包络谱分析。适合低频结构振动与倾角；高频故障诊断仍应优先 IEPE。

工程要点振动领域：安装刚度直接决定可用频带；加速度积分成位移会放大低频噪声，应优先在原始域评价。

速度对时间的变化率，是振动监测最常用的原始量。

结构构件或整体相对于设计姿态的倾角变化。

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