MEMS 加速度计 vs 伺服加速度计
MEMS Accelerometer vs Servo / Force-Balance Accelerometer
测振动/地震，便宜的 MEMS 芯片和昂贵的伺服式加速度计差别在哪？
01
一句话结论
结构健康监测、振动报警等常规场景 MEMS 完全够用；地震台网、精密惯性测量要分辨微小的长期信号，必须伺服式——噪声和零漂是两个世界。
02
对比表
对比维度共 7 项。对比只在同一使用条件下才有意义。
| 维度 | MEMS 加速度计 | 伺服式加速度计 |
|---|---|---|
| 原理 | 微机械质量块-电容/压阻检测 | 闭环力平衡伺服（精密摆） |
| 噪声 | 较高（几十~几百 μg/√Hz） | 极低（亚 μg 级） |
| 零漂 | 有温漂（需补偿） | 极低（闭环稳定） |
| 频响 | DC ~ 数千 Hz | DC ~ 数百 Hz（低频优异） |
| 动态范围 | 中等（±2~±50 g） | 宽（10⁻⁶ ~ 数 g） |
| 价格 | 便宜（芯片级） | 贵（精密机械） |
| 典型应用 | 结构振动、姿态、消费/工业监测 | 地震观测、惯性基准、精密测振 |
03
怎么选
选「MEMS 加速度计」的情形
- 测常规结构振动/冲击
- 成本敏感、可大规模部署
- 允许较高噪声底
选「伺服式加速度计」的情形
- 测微震/长周期地震信号
- 需要极低噪声与零漂
- 精密惯性测量基准
04
双方详情
05
注意事项
对比的边界对比表只覆盖典型工况。介质、量程、安装条件与维护能力任何一个改变，结论都可能反转。现场选型应以实测比测为准。
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把 MEMS 加速度计 vs 伺服加速度计 用起来
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